离子泵也叫溅射离子泵，属吸气离子泵之一种，其型式颇多，基本型是二极式。它由圆筒阳极和在其两端的两个相对的钛阴极组成。沿阳极筒轴向加一磁场。

     在低压强情况下，给阴、阳极问加一数千伏的直流电压，则由于冷阴极的场致发射及其他原因(如宇宙射线引起的光电发射、二次发射等)，泵内将产生少量的电子。这些电子在交叉电磁场作用下，沿螺旋形轨道迂回地向阳极运动。由于磁场的约束，这些电子一般不会落到阳极上，而是贴近阳极筒形成旋转的电子云，其旋转的路程相当长，在旋转途中易与气体分子碰撞，产生出离子和繁流二次电子。该电子也被束缚在磁场内，参加电离过程。离子在阳、阴极电场作用下，飞向并轰击钛板阴极，使钛溅射并打出二次电子。该二次电子仍被电磁场作用而参加到电子云里，因此放电可维持到很低的压强(因不断有繁流二次电子和二次电子补充跑到阳极上而损失的旋转电子)。溅射出的钛原子，不断沉积在阳极内壁和阴极板上。活性气体分子与新鲜的钛膜发生反应，进行化学吸附，同时又被不断溅射来的新鲜钛膜所埋葬。惰性气体分子一旦被电离，其离子便很快打进阴极表面溅射不激烈的部分(对应于阳极圆筒的边缘部分)以及沉积在阳极表面的钛层内被埋葬。轻的气体，如氢，则以离子或仍以中性分子状态射到阴极上，形成氢化钛，并扩散于阴极内。

      该泵具有使用简单、可靠、无油、无噪声、无热、无水、耗电少等优点。但对氩存有抽气不稳定现象(原先被埋的氩又被后来的离子轰击出)。由于氩离子是在阴极被埋葬排除的，所以可改进阴极本身的结构，使溅射速率增大，从而增大对氩的抽速来解决。由此，出现了许多改进式结构，如二极型(开槽阴极型、非对称阴极型、磁控管型)、三极型(单电压、双电压三极型)和复合型(溅射离子泵一升华泵的组合)等。

溅射离子泵的极限真空一般为10-11乇，工作压强范围为10-2～10-11乇，抽速达数升/秒至数万升/秒。

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本报告研究全球与中国市场离子泵的产能、产量、销量、销售额、价格及未来趋势。重点分析全球与中国市场的主要厂商产品特点、产品规格、价格、销量、销售收入及全球和中国市场主要生产商的市场份额。历史数据为2017至2021年，预测数据为2022至2028年。

主要厂商包括：
安捷伦(Agilent)
Gamma Vacuum
爱发科(ULVAC)
莱宝(Leybold)
Thermionics
中科科仪
沈阳科仪
Vakuum Praha
Hositrad
三井
四维高科
J.B. Anderson & Son
Riber

按照不同产品类型，包括如下几个类别：
普通双阴极离子泵
贵金属双阴极离子泵
三阴极离子泵

按照不同应用，主要包括如下几个方面：
物理研究
材料研究
药物研究
空间和电信
工业生产
半导体应用
其他

重点关注如下几个地区
北美
欧洲
中国
日本
东南亚

本文正文共10章，各章节主要内容如下：
第1章：报告统计范围、产品细分及主要的下游市场，行业背景、发展历史、现状及趋势等
第2章：全球总体规模（产能、产量、销量、需求量、销售收入等数据，2017-2028年）
第3章：全球范围内离子泵主要厂商竞争分析，主要包括离子泵产能、销量、收入、市场份额、价格、产地及行业集中度分析
第4章：全球离子泵主要地区分析，包括销量、销售收入等
第5章：全球离子泵主要厂商基本情况介绍，包括公司简介、离子泵产品型号、销量、收入、价格及最新动态等
第6章：全球不同产品类型离子泵销量、收入、价格及份额等
第7章：全球不同应用离子泵销量、收入、价格及份额等
第8章：产业链、上下游分析、销售渠道分析等
第9章：行业动态、增长驱动因素、发展机遇、有利因素、不利及阻碍因素、行业政策等
第10章：报告结论

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