静电卡盘是一种适用于真空环境或等离子体环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持。该产品广泛应用于 PVD、PECVD、ETCH、EUVL、离子注入等高端半导体制造装备。

据统计及预测，2021年全球静电卡盘市场销售额达到了17.14亿美元，预计2028年将达到24.12亿美元，年复合增长率（CAGR）为5.06%（2022-2028）。地区层面来看，中国大陆市场在过去几年变化较快，2021年市场规模为3.19亿美元，约占全球的18.63%，预计2028年将达到5.24亿美元，届时全球占比将达到21.72%。

消费层面来说，目前亚太地区是全球最大的消费市场，2021年占有74.47%的市场份额，之后是北美和欧洲，分别占有18.70%和5.64%。预计未来几年，亚太地区增长最快，2022-2028期间CAGR大约为5.38%。

生产端来看，日本是最重要的生产地区，2021年分别占有96.97%的市场份额，预计未来几，预计日本2028年份额将达到96.57%。

【静电卡盘行业发展趋势】

1.      技术趋势：温度均匀性控制需求提升，即分区温控温区数量的提高

2.      市场趋势：亚太地区将会快速增长，尤其是中国大陆、台湾、韩国等国家

【静电卡盘行业供应链分析】

1.      上游情况：上游原材料为氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷

2.      行业情况：静电卡盘市场具有高度垄断性

3.      下游情况：国产半导体设备逐渐代替进口设备

以上内容节选自《2022-2028全球与中国静电卡盘市场现状及未来发展趋势》

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